超纯水起初是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，如今超纯水已在生物、医药、汽车等领域广泛应用。这种水中除了水分子(H20)外，几乎没有什么杂质，更没有有害物质、病毒、含氯二恶英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素。超纯水,是一般工艺很难达到的程度，如水的电阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm则称为超纯水。目前，制备超纯水的方法通常采用反渗透，去离子或电去离子(EDI)等工艺。

•化工材料的生产和加工过程所用的溶剂及清洗过程
•超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水
•实验室和中试车间用超纯水
•半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水
•石英、硅材料生产、加工、提纯
•高纯墨水、传真打印机中的喷墨、纳米墨水
•汽车、家电表面抛光处理
•光电子产品；　
•日用化妆品生产用水
•其他高科技精微产品；

1）采用离子交换方式，其流程如下：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器（阻垢剂）→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
2）采用反渗透加离子交换方式，其流程如下：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器（阻垢剂）→精密过滤器→反渗透机→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
3）采用反渗透加EDI方式，其流程如下：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器（阻垢剂）→精密过滤器→反渗透机→EDI系统→抛光混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点。